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heidenhain海德汉光栅尺LIC 4003
光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。
技术文章
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光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,目前(2006年)光栅尺传感器系统多采用电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,随着光栅的移动,莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量。
在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如,栅线为50线对/mm的光栅尺,其光栅栅距为0.02mm,若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲,这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量,即要检测其大小,又要检测其方向,因此至少需要两路相位不同的光电信号。
为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波,通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端,从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2,为得到判向和计数脉冲,需对这两路信号进行整形,首先把它们整形为占空比为1:1的方波。然后,通过对方波的相位进行判别比较,就可以等到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数,可以等到光栅尺的位移和速度。
heidenhain海德汉光栅尺LIC 4003
规模 |
LIC 4003 |
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测量标准 线膨胀系数* |
玻璃陶瓷或玻璃上的金属刻度光栅 αtherm?8·10–6 K–1(玻璃) αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax玻璃陶瓷) |
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精度等级* |
±1 µm (仅适用于Robax玻璃陶瓷), ±3 µm, ±5 µm |
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基线误差 |
≤ ±0.275 µm/10 mm |
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测量长度ml*inmm |
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 (Robax玻璃陶瓷,大ml 1640) |
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质量 |
3 g + 0.1 g/mm 测量长度 |
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扫描头 |
AK LIC 411V |
AK LIC 419 F V |
AK LIC 419 M V |
AK LIC 419 P V |
|
界面 |
EnDat 2.2 |
Fanuc串行接口αi接口 |
三菱高速接口 |
松下系列接口 |
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订购名称* |
EnDat22 |
Fanuc05 |
Mit03-4 |
Mit02-2 |
Pana01 |
测量步骤* |
0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm) 0.001 µm (1 nm) |
0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm) |
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计算时间tcal 时钟频率 |
≤ 5 µs 16 MHz |
– |
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横移速度1) |
≤ 600 m/min |
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插值误差 |
±20 nm |
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电气连接 |
电缆1米或3米,带D-Sub连接器(公接头)15针 |
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电缆长度(带海德汉电缆) |
≤ 100 m |
≤ 50 m |
≤ 30 m |
≤ 50 m |
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电压供应 |
3.6 V DC to 14 V DC |
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功耗1(大) |
At 3.6 V: ≤700 mW At 14 V: ≤800 mW |
At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW |
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电流消耗(典型) |
At 5 V: 75mA |
At 5 V: 95 mA |
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振动55赫兹至2000赫兹 冲击6毫秒 |
≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27) |
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工作温度 |
–10 °C to 50 °C |
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烘烤温度 |
100 °C |
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真空级 |
高真空高达10–7毫巴 |
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保护EN 60 529 |
IP40 |
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质量扫描头 连接电缆 连接器 |
18 g (无电缆) 21 g/m D-Sub连接器:64 G |
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*订购时请选择 1)参见海德汉编码器手册接口中的一般电气信息。 Robax是德国缅因州Schott Glaswerke的注册商标。 |
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