heidenhain海德汉光栅尺LIP 571精度1 µm

增量式光栅尺

超高精度

LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、 精度和重复精度非常高。它采用干涉扫描 法并采用DIADUR相位光栅作为测量基准 （LIP 281：OPTODUR相位光栅）。

高精度

LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是 SUPRADUR玻璃基体光栅，用干涉扫描方 法。特点是高精度和高重复精度，以及安 装特别简单，提供限位开关和回零轨。特 殊型号的LIF 481 V可用于10–7 mbar的高真 空应用（参见其单独“产品信息”）。

高运动速度

LIDA敞开式直线光栅尺设计用于高速运 动，高速度达10 m/s。其安装非常简单 而且支持多种安装方式。根据相应光栅尺 型号，METALLUR光栅的基体可为钢带、 玻璃或玻璃陶瓷。也带限位开关。

二维光栅尺

PP二维光栅尺的测量基准是一个平面 DIADUR相位光栅，采用干涉扫描法。 用于测量平面中位置。

真空应用的光栅尺

我们的标准光栅尺适用于一般或中等真空 应用。高真空或超高真空应用的光栅尺需 要满足一些特殊要求。其设计和材质必须 满足应用要求。更多信息，参见真空中应 用的直线光栅尺技术信息。

以下敞开式直线光栅尺于高真空或超 高真空应用环境。

• 高真空：LIP 481V和LIF 481V

• 超高真空：LIP 481U 更多信息，参见相应产品信息。

heidenhain海德汉光栅尺LIP 571精度1 µm

LIP 571，LIP 581 超高精度增量式直线光栅尺

• 测量步距1 µm至0.01 µm

• 测量基准用固定架固定

如有需要详情，请见：heidenhain海德汉光栅尺LIP 571精度1 µm