heidenhain海德汉光栅尺LIP 201精度0.001µm

测量原理 测量基准

海德汉公司的光学扫描光栅尺或编码器的 测量基准都是周期刻线－光栅。 这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长 度测量用的光栅尺带的基体为钢带。 海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺 制造精密光栅。

• AURODUR：在镀金钢带上蚀刻线条， 典型栅距40 µm

• METALLUR：抗污染的镀金层金属线， 典型栅距20 µm

• DIADUR：玻璃基体的超硬铬线（典型栅 距20 µm）或玻璃基体的三维铬线格栅 （典型栅距8 µm）

• SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格 栅线条；*抗污能力；典型栅距不超 过8 µm

• OPTODUR相位光栅：光学三维平面格栅 线条，超高反光性能，典型栅距不超过 2 µm 这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅 外，而且刻制的光栅线条边缘清晰、均 匀。再加上光电扫描法，这些边缘清晰 的刻线是输出高质量信号的关键。 母版光栅采用海德汉公司定制的精密 刻线机制造。

测量法

测量法是指编码器通电时就立即提供 位置值并随时供后续信号处理电子电路读 取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝 对位置信息来自光栅码盘，它由一系列绝 对码组成。单独的增量刻轨信号用于在细 分后得到位置值，同时也生成供选用的增 量信号（与接口类型有关）。

增量测量法

增量测量法的光栅由周期性刻线组成。位 置信息通过计算自某个设置的原点开始的 增量数（测量步距数）获得。由于必须用 参考点确定位置值，因此测量基准的 光栅尺上还刻有一个参考点轨。参考点确 定的光栅尺带的位置值可以精确到一 个信号周期。因此，必须通过扫描参考点 建立基准点或确定上次选择的原点。 差情况时，机床需要移动测量范围上的 较大部分。为加快和简化“参考点回零” 操作，许多海德汉光栅尺刻有距离编码参 考点，这些参考点彼此相距数学算法确定 的距离。移过两个相邻参考点后（一般只 需运动数毫米）（见下表），后续电子电 路就能找到参考点位置。

heidenhain海德汉光栅尺LIP 201精度0.001µm

LIP 211，LIP 281，LIP 291 增量式直线光栅尺，精度高和重复精度高

• 测量步距可达0.001 µm（1 nm）或更小

• 用于高运动速度和大测量长度

• 测量基准用固定架固定

• 由光栅尺和读数头组成

如有需要详情，请见：heidenhain海德汉光栅尺LIP 201精度0.001µm