heidenhain海德汉光栅尺LIP 382精度0.001µm

直线光栅尺测量直线轴位置，测量期间没 有任何其它机械传动件。因此，它能消除 以下潜在误差源： • 滚珠丝杠温度特性导致的定位误差

• 反向误差 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 因此，直线光栅尺是高精度定位和高速加 工机床*的基础技术手段。 敞开式直线光栅尺设计用于超高测量精度 的机器和系统。

典型应用包括：

• 半导体工业的测量和生产设备

• PCB电路板组装机

• 超精密机床，例如加工光学器件的金刚 石刀具，加工磁盘的端面车床和加工铁 氧体元件的磨床

• 高精度机床

• 测量机和比较仪、测量显微镜和其它精 密测量设备

• 直驱电机 机械结构 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢光栅尺 带和读数头，光栅尺和读数头间无机械接 触。 敞开式直线光栅尺的光栅尺带固定在安装 面上。因此，安装面的平面度是高精度直 线光栅尺应用的基础条件。

测量原理 测量基准

海德汉公司的光学扫描光栅尺或编码器的 测量基准都是周期刻线－光栅。 这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长 度测量用的光栅尺带的基体为钢带。 海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺 制造精密光栅。

• AURODUR：在镀金钢带上蚀刻线条， 典型栅距40 µm • METALLUR：抗污染的镀金层金属线， 典型栅距20 µm

• DIADUR：玻璃基体的超硬铬线（典型栅 距20 µm）或玻璃基体的三维铬线格栅 （典型栅距8 µm）

• SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格 栅线条；*抗污能力；典型栅距不超 过8 µm

• OPTODUR相位光栅：光学三维平面格栅 线条，超高反光性能，典型栅距不超过 2 µm 这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅 外，而且刻制的光栅线条边缘清晰、均 匀。再加上光电扫描法，这些边缘清晰 的刻线是输出高质量信号的关键。 母版光栅采用海德汉公司定制的精密 刻线机制造。

heidenhain海德汉光栅尺LIP 382精度0.001µm

LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直线光栅尺

• 测量步距达0.001 µm（1 nm）

• 测量基准用螺栓固定

如有需要详情，请见：heidenhain海德汉光栅尺LIP 382精度0.001µm