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山武azbil蓝宝石隔膜真空计
蓝宝石隔膜真空计SPG系列采用了蓝宝石静电容量式圧力传感器是具有高精度、高可靠性、高耐蚀性的小型・轻量的隔膜真空计主要用于半导体工艺流程
产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION技术文章
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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,生物产业,地矿,交通 |
蓝宝石隔膜真空计 SPG5/6/7的受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石,通过检测静电容量,即使在高温检测环境下也能实现高的检测重复性。
通过*的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测,由微加工技术而形成的蓝宝石传感器实现了小型、轻量化的自加热型隔膜真空计。
提高品质
真空计多数在有大的压力环境下使用,是容易因各种原因引起零点漂移的产品。真空计的零点漂移会影响控制量,从而会影响终产品的品质。蓝宝石隔膜真空计采用了零点不易漂移的构造。
提高生产性
减少了设备的停机时间。备有用于减少停机避免时间浪费的功能。
山武azbil蓝宝石隔膜真空计
概要
蓝宝石隔膜真空计SPG系列采用了蓝宝石静电容量式圧力传感器是具有高精度、高可靠性、高耐蚀性的小型・轻量的隔膜真空计主要用于半导体工艺流程
特长
采样高付腐蚀性、高时热性的单品体蓝宝石感压部材料采用具有高付蚀性、高热性、机械特性优异的单品体蓝宝石,通过静电容量检测方式,即使在高温检测环境下也可实现高的检测重复性
检测误差小
采用*的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测
・小型/轻量的本体
通过采用*的足微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、实现了大幅度的小型/轻量化简单的零点调整功能通过Auto零点调整开关或 Up/Down零点调整开关,可简单地进行零点调整
・机器状态显示
通过LED足示,可一目了然地判断产品的状态(正常、预热中、异常)
·迅速启动和稳定的温度控制
通过采用了微处理器的数字PD运算对加热器进行温度控制实现了迅速启动和稳定的温度控制
·智能编程器软件包对应
智能编程器软件包对应(另售SLP-SP5J70)可方便地进行监视和参数的读写
符合CE
符合C指令、符合CE标识。(适合规格:EN61326、EN55011)
如有需要详情,请见:山武azbil蓝宝石隔膜真空计