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heidenhain海德汉光栅尺LIC 4003 光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。
LIF 481V海德汉光栅尺 光栅尺,也称为光栅尺位移传感器或光栅尺传感器,是通过利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。
LIP 481 V,LIP 481 U海德汉光栅尺 玻璃上的Diadur相位光栅或Zerodur玻璃陶瓷 玻璃:αTherm8·10–6 K–1;Zerodur玻璃陶瓷:αTherm0(0±0.1)x 10–6 K–1
双坐标测量用PP 281 R海德汉光栅尺编码器 PP 281R 二维增量式编码器 测量步距1 µm至0.05 µm